多孔质节流气体静压导轨副因其高精度、高承载以及清洁无污染等优点,在超精密制造领域备受青睐。本文从多孔质气体静压止推轴承的关键技术展开研究,分析凹面多孔质止推轴承的静态特性,然后对多孔质气体静压导轨副进行频率特性分析,研制完成了高精度高刚度高速度二维运动平台,并对其进行精度检测。主要研究内容包括:针对多孔质气体静压止推轴承的关键技术分析,包括多孔质介质的渗透率、动静态特性等因素;采用基于有限体积法的Fluent软件对多孔质凹面气体静压止推轴承进行了建模分析,研究了气膜间隙、通气气压、多孔质节流器厚度、凹面高度等因素对气体静压止推轴承特性的影响,最后通过流固耦合方法分析气膜压力对轴承基体的影响;采用Solidworks软件的Simulation模块对比分析了支撑刚度对“T”字型气体静压导轨副的溜板副的模态的影响,并采用Data Physics 730动态信号分析仪进行数据采集,对溜板副进行模态试验,进行对比分析,得出支撑刚度是影响溜板副频率的重要因素的结论。设计和研制了高精度高刚度高速度二维运动平台,并对其主要零部件进行分析,对数控系统进行计算选型,然后用双频激光干涉仪对二维运动平台的定位精度进行检测,最后分析误差对其精度的影响。