【摘 要】
：
微转移印刷技术在构建柔性电子和器件小型化等方面具有重要应用。借助微转移印刷技术,不同微部件之间的精确组装可以构造出复合微结构或高性能电子系统。微转移印刷技术通过对高性能分立器件进行高度集成,摆脱了传统制造方式工艺不兼容的约束,具有集成度高、操作简单、成本低、良率可控等优势。基于薄膜体声波谐振器,本课题对微转移印刷技术在柔性封装与红外传感、单片异质集成两方面应用进行研究。课题主要研究内容和成果如下:
论文部分内容阅读
微转移印刷技术在构建柔性电子和器件小型化等方面具有重要应用。借助微转移印刷技术,不同微部件之间的精确组装可以构造出复合微结构或高性能电子系统。微转移印刷技术通过对高性能分立器件进行高度集成,摆脱了传统制造方式工艺不兼容的约束,具有集成度高、操作简单、成本低、良率可控等优势。基于薄膜体声波谐振器,本课题对微转移印刷技术在柔性封装与红外传感、单片异质集成两方面应用进行研究。课题主要研究内容和成果如下:1.在微转移印刷技术方面,结合微转移印刷技术中的断裂力学原理,对原有工艺进行优化。通过引入粘合溶液和降低锚点占空比降低了工艺复杂度,同时提升了转移后的结构稳健性;2.基于微转移印刷技术,首次提出了用于红外传感的空气隙型薄膜体声波谐振器柔性封装方案。完成了封装方案的可靠性测试,封装了的器件具有良好的机械柔性。近红外传感测试表明,器件对785 nm波长近红外光的响应率为3.31 Hz/n W,噪声等效功率为1.28×10-8 W/Hz1/2,归一化探测率为5522 m·Hz1/2/W;3.基于微转移印刷技术,首次实现了薄膜体声波谐振器薄膜与CMOS集成芯片的3D堆叠式单片集成,探索出一套完整的实现方案。集成的振荡器在2024 MHz处的振荡输出功率为-17.2 dBm,载波远端频率处相位噪声为-136 dBc/Hz。
其他文献
透明电极是光电器件的关键组成部分,其广泛应用于信息显示、固体照明、光电转换等领域。近年来,以铜为基础制备的各种结构透明电极因其良好特性及廉价成本得到了研究者及工业界的广泛关注。本文研究主要通过构建不同类型的铜基透明导电薄膜电极结构,制备出兼具低方阻、高透光率以及优异机械稳定性与化学稳定性的透明电极。主要内容及结论如下:（1）为进一步提高柔性铜基铝掺杂ZnO（AZO）复合透明电极的光学和电学性能,使
近年来,急剧增加的市场需求与国家政府的大力支持使集成电路产业得到高速发展,与国外行业水平之间的差距正日趋缩短。横向双扩散金属氧化物半导体晶体管（Lateral Double Diffused Metal Oxide Transistor,LDMOS）作为集成功率器件,因其具有较高的击穿电压与较低的比导通电阻且易与CMOS及BCD工艺兼容等优点,在多个应用领域如照明系统驱动、智能汽车电子、开关电源等
现有复杂面形轮廓测量技术存在测量局限性大、测量结果一致性差、面形评价的合理性无法进行判断等问题,因此需要对复杂面形的测量理论与方法进行研究,并研制相应的面形轮廓标准测量装置,以完善面形轮廓的量值统一与溯源体系。本论文“面形轮廓标准测量装置中激光干涉测量系统研究”是针对面形轮廓标准测量装置中激光干涉测量系统的关键技术开展研究。首先,研究了适用于非接触、大口径、高非球面度的面形轮廓标准测量装置结构,其
信息技术的发展促进了社会生产力的快速进步,使信息交流变得方便快捷,但同时也带来了信息安全的问题。集成电路技术是信息技术的基石,其安全性是信息安全的前提与保障。安全芯片是集成电路硬件安全的核心技术,也是维护信息安全的重要手段。然而随着技术的发展,针对安全芯片的物理攻击方法正向着多样化、综合化的趋势演变,单一的抗攻击手段通常难以达到很高的防护效果。为了提高芯片系统的安全性,保护重要信息与知识产权,开展
高硅铝合金以其密度低、热膨胀系数（Coefficient of thermal expansion,CTE）低、热机械性能稳定等优异性能在电子封装领域具有广阔的应用前景。但是电子封装结构在工作时往往会受到热载荷和复杂的机械载荷的作用而发生失效破坏,所以准确的测量其高温力学行为具有重要意义。以往的研究对于高硅铝合金在高温下的力学行为分析较少,同时不能解释合金微观形貌与变形之间的关系,难以明确合金微观
时间频率作为计量领域最重要的组成部分之一,在其他诸多领域起着重要作用。目前时间频率量值复现标准精度最高的是光钟,其钟信号位于光频段,在实际的研究和应用中,需要利用光学频率梳将高稳定的光钟信号传递至其他光学频率或射频频率。传统的时间频率传递需要噪声性能优良的窄线宽光梳,以求传递过程不会引入过多的光梳噪声。本文研究的传递振荡器技术可以消除传递过程中光梳的噪声,使用噪声较高的普通光纤光梳即可实现传统方法
太赫兹波因为其在不同领域的巨大潜力近年来受到了广泛的关注,但是由于缺少相应工作波段的增益介质和所需要的物理参数的材料,造成了太赫兹波段的工作器件较为稀缺。超材料的存在有效地缓解了这部分问题,为了对超材料进行更好的功能设计和实时控制,引入了编码超材料这一概念。本文主要通过将编码超材料的相关理论应用于太赫兹波段,从而完成了相关太赫兹器材的设计,主要研究工作包括:1.仅用“0”、“1”单元,通过“错位”
以光子晶体光纤飞秒激光放大系统为泵浦源,设计并实现了信号脉冲同步型、泵浦脉冲碰撞型、泵浦脉冲同步型这三种双向泵浦的单腔、单Mg O:PPLN晶体的光学参量振荡器（OPO）;总结并提出了双向泵浦OPO中泵浦及信号脉冲间的同步与延迟对谐振腔中信号脉冲传输状态的影响机理,并通过OPO输出特性随脉冲间延迟的变化过程对此论述进行了验证。本论文的主要创新点概括如下:对双向泵浦OPO的脉冲间延迟与同步过程进行了
双光梳绝对距离测量一直在向高精度、低复杂度的方向发展,从双光梳产生源到双光梳测量方法都不断有新技术出现,光源有依靠外界锁相环路完全锁定的两台锁模激光器、自由运转的两台锁模激光器和单台双光梳的激光器;测距方法有双光梳色散光谱测距和双光梳飞行时间测距等。单台双光梳激光器与双光梳飞行时间测距结合的测距系统结构简单并且能够达到较高的测距精度。为了使双光梳精密测距的应用更广泛,本文用双光梳飞行时间法测量了非
随着我国基础设施建设步伐的加快,隧道领域的大型掘进设备盾构机已经得到大规模应用,由此带来的刀头磨损检测需求越来越大。目前基于油压失衡的主要检测手段已不能满足实时性、高效率、地况分析等方面的需求。当前光纤传感技术越来越多地被应用于结构健康检测的各个方面,比如桥梁隧道、大型建筑、矿井、石油勘测等领域。其中光纤光栅应用最为广泛,技术相对成熟。它具有抗电磁干扰、体积小、灵敏度高、便于复用等诸多优点。本文针