环烯烃共聚物（Cyclic Olefin Copolymer）是一种近年来逐渐引起人们高度重视的无定形高分子材料,其具有覆盖全光谱的高透射率、低双折射系数、极低的吸水率、密度低、不易碎以及高阿贝数、化学性能稳定、耐酸碱性和机械性能优良等诸多优点,与聚甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate）和聚碳酸酯（Polycarbonate）等传统的透明性塑料相比,COC不仅具有与PMMA相当的光学性能,而且具有更高的耐温性。这些特点正是制备光学元件所需的优良特性。因此COC被认为是PC、PMMA、聚苯乙烯（Polystyrene）、聚氯乙烯（Polyvinyl Chloride）以及一些工程塑料的理想替代材料,在光学领域中具有良好的发展前景。但是COC与传统高分子材料类似,由于其热膨胀系数较高,所以会在成膜过程中或成膜后由于温度的变化而发生膜裂或脱膜现象。因此,提高COC表面光学薄膜的附着力与耐环境适应性能是目前的研究热点。本文对COC基底的理化性能进行了研究,根据薄膜热应力理论分析材料特性,最终筛选热膨胀系数相匹配的Zr O2作为粘结层材料,基于减反射膜设计理论,折射率相匹配的高低折射率材料分别选择Ti3O5作为高折射率材料,L5作为低折射率材料,通过软件进行膜系结构设计可得400～700nm波段平均反射率R≤0.102%的减反射膜。为了提高COC基底表面分子的活性,对COC基底表面进行氧气等离子体处理,通过X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy）与原子力显微镜（Atomic Force Microscopy）测试对处理后基底表面的化学成分、表面形貌和粗糙度的变化进行研究分析,探索了等离子体处理时间以及功率密度对基底表面性能的影响,大大提高了基底表面的附着力。研究分析了导致COC基底脱膜的原因,从理论上计算了薄膜的力矩,通过测试光谱曲线,找出脱膜层数,采用在二者之间增镀压应力性质的过渡层材料L5,提高了粘结层与镀层之间的结合力。对制备完成两种不同膜系结构的样片进行扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）测试,分析了薄膜的微观形貌。通过对恒温恒湿测试后样片膜裂的显微照片分析,采用镀膜后离子源轰击的方法来提高薄膜的致密性,改善了由于膜层不够致密而导致水汽进入的问题。最终测试结果表明,制备的减反射膜在400～700nm波段平均反射率为0.117%,且能够通过膜层附着力、高低温、恒温恒湿,冷热冲击测试,具备良好的耐环境适应性能。