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随着科学的发展和机械加工技术的进步,高精度和高分辨率的精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。在已研制的精密及超精密工作台中,往往整体性能存在缺陷,同时对环境的要求严格。通过对国内外大行程超精密平台的比较分析以及前人的论述,可得出如下结论:陶瓷材料、空气静压导轨、直接驱动技术是超精密平台的关键技术,比其他方式更有优越性。而开放式数控系统则是必然的选择。本文通过对精密平台支撑技术的研究,决定采用直线电机、闭式空气静压导轨、开放式精密光栅尺、高性能运动控制卡等搭建整