随着科学技术的进步，硬脆材料的应用也随之日益广泛。为实现硬脆材料的精密、超精密磨削，本文对超精密磨削用微进给工作台及ELID 超精密磨削用金刚石砂轮的电火花整形技术进行了研究。高精度微进给系统是超精密加工的关键部件，具有微量控制磨削厚度的功能。本文密切结合ELID磨削中的实际问题，研究精密磨床辅助进给工作台，以进一步提高磨床的进给精度。文中阐述了以压电陶瓷作动器为驱动源，弹性铰链为弹性变形元件的微进给工作台的结构特性和工作原理，利用有限元软件ANSYS对弹性铰链的结构尺寸进行了优化设计，得到了合适的结构参数。并对微进给工作台进行实验测试，测试结果表明微进给工作台的位移输出特性满足设计要求。砂轮的形状精度直接影响着工件磨削表面质量。铸铁结合剂金刚石砂轮具有高的刚度、强度，适合工程陶瓷、硬质合金等硬脆材料的超精密磨削。但由于铸铁结合剂金刚石砂轮的结合剂硬度高，所以砂轮难以修整。本文根据电火花加工原理，通过一系列实验，借助于数据采集系统采集整形过程中的电压和电流，总结了铸铁结合金刚石砂轮的电火花整形规律。通过电火花整形，使铸铁结合剂砂轮初步达到了精密磨削的要求。