随着科技的进步和社会信息化程度的提高,无线通信技术正不断地向高频化微型化方向发展。电子系统的集成度越来越高,尺寸也越来越小,工作频率也越来越高,要求各种电子与器件也要朝着小型化、高频化、高精度、高稳定性、低损耗的方向发展。作为三大无源器件之一的电感器,在众多领域有着广泛的应用。而薄膜电感器由于磁性薄膜的引入,可以有效的提高电感量和减小器件的尺寸,并且有效地改善电感器的高频性能,它的出现为电感器的小型化、高频化开辟了有效的途径,将成为未来电感器的主流,因此对薄膜电感器的研究成了当前的热点之一。本文首先简要地概述了薄膜电感器的国内外发展状况,分析了电感的基本理论、主要性能指标和损耗机制,用软件HFSS对薄膜电感器进行了仿真研究,分析了电感的各项参数以及材料的特性参数对电感值L和品质因素Q以及工作频率fr的影响,并对其进行优化,最后得出了电感的基本结构参数和材料参数。得出电感的结构参数匝数n=10,线条宽度w=70gm,线条间隙s=30μm,导线厚度t=2μm,线条长度d=600μm,衬底电阻率ρsi>10Ω·cm。在仿真结果的指导下,选取FeCo-SiO2薄膜作为磁芯材料,根据实验室现有的工艺条件,通过磁控溅射制备了薄膜样品,并对薄膜各项性能进行了研究分析,得出最优化的薄膜参数。结果表明薄膜具有一定的各向异性和较高的饱和磁化强度,薄膜易轴和难轴方向的矫顽力分别是50e和80e,面内各向异性场大约为550e；饱和磁化强度是20.8kG,薄膜的自然共振频率约为3GHz,电阻率是1500μΩ·cm。最后利用薄膜工艺、光刻工艺、刻蚀和电镀等工艺相结合,制作了薄膜电感器,并对电感器进行了高频测试。通过分析,在f=2GHz处,电感的电感值L和品质因素Q分别提升了23%和27%,FeCo-SiO2磁膜的集成有效地提升了电感的整体性能,从实验上得到了高性能的薄膜电感器。