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ZnO作为当前最具代表性的半导体氧化物材料,具有良好的生物相容性,并且在压电传感、气体传感、光电传感等方面都具有非常出色的特性。然而目前国内外针对氧化物半导体材料在生物电子领域的研究主要集中在非生物基底上,衬底材料不具备生物活性,限制了ZnO半导体材料的发展,如果能将ZnO可控的生长在具有生物活性的衬底材料上,可以为研制具有良好生物相容性及生物可降解性的电子元件打下良好基础,为开启未来新型生物电子信息系统应用的大门提供了有利条件。本论文主要工作如下:1、玉米醇溶蛋白膜的制备与表征:采用了溶液滴涂的方法,制备ZnO生长所需的衬底材料玉米醇溶蛋白膜,并通过改变制备玉米醇溶蛋白膜的乙醇浓度、添加量、水浴捏合温度、增塑剂含量以及成膜介质等因素进行分组实验,对不同条件下制备出的玉米醇溶蛋白膜进行表征,选择出制备玉米醇溶蛋白膜的最优条件。即玉米醇溶蛋白粉添加量为5g,选取的乙醇浓度为75%、添加量为40ml、水浴捏合温度设定为75℃、增塑剂甘油及聚乙二醇-400添加量均为1.5g,成膜的衬底材料选择OHP塑料胶片的情况下,制备出来的玉米醇溶蛋白膜的性能最佳,制备出的玉米醇溶蛋白膜的各项性能指标分别为:拉伸强度(TS)为6.1 MPa、断裂延伸率(EB)为129.5%、水溶性26.25%、透光率79.2%。并且玉米醇溶蛋白膜的表面光滑且具备一定的韧性,可操作性较强,为下一步实现低温下ZnO的可控性生长提供了良好的基础条件。2、采用射频磁控溅射的方法在玉米醇溶蛋白膜上进行ZnO的可控性生长:通过改变射频磁控溅射设备的生长功率及氩氧比等条件,在玉米醇溶蛋白膜上生长ZnO薄膜材料,并利用场发射电子扫描显微镜(SEM)、光谱仪(PL)、原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)等测试手段对所制备的ZnO薄膜材料进行了表征并优化实验条件及工艺参数。在射频溅射的真空度设为3.6×10-6Torr,氩(Ar):氧(O)为70:30,生长温度为70℃,生长压力(P)为8.2mTorr,功率为100W时,ZnO在玉米醇溶蛋白膜上生长成膜的效果较好。本文中成功实现了低温下ZnO在玉米醇溶蛋白膜上的可控性生长,为今后制备和研究具有生物相容性的生物电子器件打下了良好的基础。