微机电系统(MEMS)的研究已经从基础研究阶段进入开发实用阶段。MEMS的可靠性和稳定性研究是目前MEMS技术的难点。在实际的工作环境中,运动微器件会受到多物理场的作用,比如说静电场,流体场,热应力场等,微机电系统运动行为中复杂的多因素耦合特点使得对多物理场耦合的分析研究是必不可少的。而微器件的运动特性受制造误差、参数变化、弹性变形的影响很大,尤其是结构故障,使得运动精度成为微器件研究的关键问题,人们需要对带缺陷微器件的行为进行理论仿真以及试验研究,依靠故障的模型和测试方法,找出这些缺陷,从而提高MEMS产品的质量与可靠性。梳齿结构驱动的可行性早就被人证实并得到应用。作为微谐振器的敏感元件,梳齿结构的各方面性能和特征都值得研究。目前该结构的精度控制等性能还不能达到人们的要求,所以其驱动性能的模拟研究也越来越受到重视。本文借助有限元分析软件ANSYS,建模仿真分析了典型微梳齿谐振器结构的静态驱动性能和动态性能,并进行了微梳齿结构的初步动态实验。结构静态驱动过程分析主要讨论了机电耦合作用下,梳齿结构参数变化对微梳齿驱动器静态特性的影响,以及加工中常出现的斜齿和偏移误差对微梳齿驱动的耦合影响。动态性能是谐振器的重要工作指标,文中建立微梳齿结构的三维动力学模型,综合采用Couette流体模型和Stokes模型获得整体结构的阻尼模型,并对几种常见的故障(点粘接、梁裂纹和断裂齿)进行动态分析,结果表明故障的存在对谐振器结构振动参数,灵敏度等动态性能有着不同程度的影响,通过对动态参数的检测,可以对结构故障做出初步诊断。检测技术是MEMS发展的基础。本文搭建了简单的实验检测系统,采用激光多普勒测振仪得出了初步的实验数据。