随着国内以LED产业为代表的半导体产业的迅猛发展,我国对MOCVD设备的需求量不断增大。但是目前我国的MOCVD设备主要来自于国外,价格昂贵。在这样的行情下,我国将MOCVD设备技术研究列为国家科技发展的重要客课题。旋转盘是MOCVD反应室的核心部件,是半导体外延片生长的基座。在半导体外延片生长的过程中,由于旋转盘自身的材质及其他影响因素,旋转盘运动时极易发生振动,从而影响半导体外延片的生长。在复杂的环境场下,旋转盘振动呈现非线性特征,使得旋转盘振动补偿变得异常复杂。本论文以“基于LS_SVM的旋转盘控制系统技术”为题,以提高旋转盘运动的平稳性为目标,重点研究了旋转盘振动影响因素、旋转盘振动补偿的LS_SVM预测建模及方法实现、旋转盘运动控制系统的设计方案。论文的主要研究内容包括:(一)旋转盘振动影响因素众多,而且这些振动影响因素来源是不一样的,导致引起旋转盘振动的原因不明确。针对这一问题,从旋转盘运动力学研究着手,分析旋转盘振动影响因素,指出旋转盘振动补偿控制对象。(二)提出旋转盘振动补偿LS_SVM预测建模及方法实现,研究基于LS_SVM的旋转盘振动补偿预测方法。通过仿真实验分析预测算法的性能,为后续旋转盘运动控制系统的设计提供了重要的技术方法。(三)针对旋转盘运动平稳性要求,提出“上位机+PLC”的旋转盘运动控制系统,并从硬件设计和软件设计方面详细介绍了旋转盘运动控制系统的具体方案。