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载能粒子沉积技术是一种通过整体或部分提高沉积粒子能量来改善薄膜宏观性能的有效手段。本论文针对铀钛合金的腐蚀防护问题,从理论和实验两个部分开展了沉积粒子能量对Ti/TiN薄膜生长和性能的影响研究。负偏压的形式和峰值是影响薄膜质量和使用性能的两个重要因素,首先采用分子动力学研究了偏压形式和峰值对薄膜形核生长、界面状态和基体沉积温度的影响。偏压峰值的增加可以提高沉积粒子的入射能量,随着沉积粒子入射能量的升高,基体表面形核点的数目增加、分布范围扩大,有助于促进晶粒的细化和薄膜的层状生长,但过高的