【摘 要】
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干涉仪是应用干涉测量技术对光学材料、元件、系统的各种参量进行高精度测量的光学测试仪器。针对单个干涉仪应用范围受限的问题,本论文研究了一种利用变焦系统能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间切换的复合型干涉仪,为研制更高性能的干涉仪进行一定的理论基础研究及关键技术储备,对于实际工程有着一定的指导意义。论文分析了干涉原理和常用干涉仪光路结构及工作原理,确定了等厚等倾复合型干涉仪的设计方案,并针对设计中
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干涉仪是应用干涉测量技术对光学材料、元件、系统的各种参量进行高精度测量的光学测试仪器。针对单个干涉仪应用范围受限的问题,本论文研究了一种利用变焦系统能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间切换的复合型干涉仪,为研制更高性能的干涉仪进行一定的理论基础研究及关键技术储备,对于实际工程有着一定的指导意义。论文分析了干涉原理和常用干涉仪光路结构及工作原理,确定了等厚等倾复合型干涉仪的设计方案,并针对设计中需要注意的事项进行分析,完成了干涉仪光学系统的设计,对等厚及等倾干涉进行了仿真,得到了干涉图。而后完成了干涉仪整机结构设计,设计了专用的固紧及调节机构。对于干涉仪内杂散光的抑制,从光学元件、机械结构以及表面特性这三个方面给出了具体方案,利用TracePro软件对干涉仪系统三维建模,对等厚干涉和等倾干涉分别进行光线追迹,结果表明干涉仪对系统内部非期望杂散光抑制水平较高,干涉条纹具有良好的对比度。
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