晶体硅太阳电池是极具发展前景的太阳能获取途径,在低成本及高效率两大发展主题下,金刚石线锯切割技术已淘汰砂浆线锯切割技术,逐渐完全占据晶体硅电池的硅片切割市场。而由于切割方式导致的硅片表面特性差异,金刚石线锯切割多晶硅片在常规湿法酸制绒中难以制备得到低反射率的均匀绒面,并且无法有效去除切割纹。针对此制绒障碍,本课题组前期研发出基于氢氟酸-硝酸混酸蒸气冷凝酸液滴进行刻蚀作用的微液滴刻蚀制绒方法（简称MDE制绒）,对金刚线切割硅片具有良好的制绒效果,可有效解决上述问题,而本文针对MDE制绒机理进行了更深入的实验研究,有以下发现:1.湿法制绒中HNO₃-HF-H₂O混酸系统无法在抛光硅片表面刻蚀得到织构绒面,而MDE制绒可在抛光硅片表面刻蚀得到粗糙绒面。常规湿法酸刻蚀所得的硅片绒面应来源于由硅片表面机械损伤导致的酸液差异化腐蚀攻击。2.液滴刻蚀硅片时在液滴内部硅片处于固-液两相环境,而在边缘处硅片处于固-液-气三相交界环境。硅片在液滴内部的腐蚀情况与湿法腐蚀中类似,但其在边缘三相线界面区处的反应速度快于中心区域,在一定条件下可被刻蚀得到比中心腐蚀平面更深的腐蚀沟壑,并伴随酸液浓度及硅片温度的升高同步加深。在微液滴刻蚀制绒中,边缘位置的优先攻击可在硅片表面刻蚀得到密集分布的“W”形腐蚀坑。微液滴制绒方法的生产应用尚有待专用产线设备的开发。故在不改变常规工业化湿法酸制绒制绒设备与工序的前提下,本文研究了金刚线切割硅片的退火预处理方法,有效改善其常规湿法制绒效果,有以下结论:1.硅片在400℃以上温度退火1h后,在湿法酸制绒10s时,表面腐蚀得到“小孔”特征形貌,随退火温度的升高,“小孔”数量增多,分布也更加密集。2.至制绒后期“小孔”特征形貌演变为大量密集分布的圆形或近圆形蚀坑,可有效改善硅片制绒后表面腐蚀坑的密度及均匀性,降低光反射率,并显著提升电池效率。