基于叠堆压电陶瓷的液体光学调相器设计与制备

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光学综合孔径成像系统是把数个小孔径的光学元件根据一定规则的空间位置进行排列,通过光路的调整、相位的匹配等操作,使经过各子孔径的光束在同一焦平面上达到共相精度0.1λ。叠堆压电陶瓷能实现长度方向纳米级的位移控制精度。本文选用叠堆压电陶瓷管并填充透明液体介质,设计了一种结构紧凑的光学调相器并实现了制备输出。采用干涉仪检测相位并使用条纹偏移标记图像处理法,获得了对前述调相器精度达到0.05λ的光学相位检测方法,为光学综合孔径共相调节提供了可行的参考方案。本文的主要工作如下:1.论述了课题的研究背景及研究意义,调研了光学综合孔径成像技术和压电陶瓷材料的研究进展。2.设计了一种体积小、控制精度高的压电驱动液体光学调相器。该调相器以具有管状的压电陶瓷为驱动主体且填充透明液体介质,陶瓷管的两端设有薄玻璃片,其中一片用粘胶密封,另一片封住液体介质并设为自由端,管内透明液体通光方向上的长度可随压电陶瓷长度调节,由此形成“光束输入端+光程可调液柱+光束输出端”的三明治夹心结构,并实现了该器件的制备输出。3.搭建了光学调相器相位检测实验平台,包括迈克尔逊干涉仪、显微拍摄系统、图像处理系统等。干涉仪一臂改装为可容纳液体光学调相器的“笼”状结构,使用显微拍摄系统放大并记录干涉条纹图像,采用条纹偏移标记法将检测光学相位(光程)精度由0.5λ提高了10倍。实验得到了精度为0.05λ的光程调整量与控制电压的关系曲线。
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