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本文介绍了超声的基本特性与应用情况，对超声振动切割过程及机理作了详细分析，提出超声振动微切割方法，为超声显微切割器的研制提供了理论依据。基于超声振动微切割理论，提出将复合夹心式压电超声换能器作为超声发生装置，进行显微切割工具设计，为验证超声振动显微切割理论提供了条件。
本文提出利用叠堆压电陶瓷驱动器作为超声发生装置，设计了频率和振幅可调节的显微切割器的结构并进行了理论分析。针对叠堆陶瓷驱动式微切割器对振动频率与幅值调节的需求，设计了微切割器振动驱动与控制系统。