工业机器人已经日益广泛应用汽车装配制造,冶金,搬运等行业。但是我国国内机器人市场份额的百分之八十被机器人四大厂商库卡、ABB、发那科以及安川所占据。随着机器人四大家族对中国市场的迅速抢占,工业机器人的国产化已经是大势所趋。提高国产机器人的性能尽可能的占据市场份额刻不容缓,对国产化机器人的负载能力和运动载荷性能的评估对国产机器人的性能提高起到很重要的作用。机器人的性能评估方法主要由基于激光干涉仪系统球坐标系测试系统组成。然而球坐标系的测量误差随着距离的增加而线性增加。基于此点,本文提出一种基于激光干涉仪的笛卡尔坐标系下的机器人高精度激光跟踪测量系统,用来满足工业机器人的空间动态非接触的高精度测量需求。通过测试系统针对机器人的绝对定位精度,重复定位精度和轨迹运动精度等机器人精度指标的测试,为评估和提高机器人的性能提供设备支撑和数据基础,对国产机器人性能的提高有很高的研究意义。本文首先对机器人的测试现状进行分析阐述,提出本测试系统测试方法。进而对激光跟踪测试系统进行了介绍,阐明了机器人测量系统的元件选型组成和系统精度标定实验,确定了本测试系统自身的精度性能评估。第三部分主要针对机器人的性能测试进行实验测试,并针对国内两家不同公司生产制造的不同型号的机器人的精度指标进行数据处理分析得到精度测试结果,得出其精度值是否满足机器人最初的设计精度值完成对其可靠性的评估意见。第四部分针对重载机器人的柔性,对测试机器人中的某种机器人进行了柔性建模,对重载搬运机器人的柔性变形进行了初步的探讨。最后总结了本测试系统的存在问题及解决方法,并对测试系统方法的以后所需工作进行了展望。