随着计算机软硬件技术、信息技术与制造业工业技术的高速发展和企业信息化进程的推进，工业自动化系统变得越来越复杂，对自动化系统的要求也变得越来越高。由于大型自动化系统结构复杂、变量众多、信息交错，如何提供更加有效的应用软件对其进行优化和控制，便成为亟待解决的热点问题，而软件测试作为软件生命周期中不可或缺的组成部分，是保证软件质量和安全性的关键所在。本文研究了半导体自动化应用软件的功能测试，阐述了软件测试的基本理论和测试方法，介绍了半导体生产自动化系统的功能和特点，分析了半导体生产自动化系统的测试需求及传统软件测试模型在此类应用上的不足，依据敏捷测试的思想，提出了一套有针对性的软件功能测试模型。基于工厂生产线的实际情况，设计出一套功能测试计划和方案。该方案选取RMT(Rational Manual Tester)为测试工具，通过等价类、边界值分析和错误猜测等方法相结合设计测试用例，不仅提高了测试的效率，规范了测试流程，更好地适应客户不断变化的需求，同时更能及时有效地发现软件的错误，为开发人员改善软件质量提供有效支持。本文通过对半导体工厂的自动数据收集系统（ADC）进行实测，运用设计出的测试方案实现了对其的功能测试，证明该测试方案是行之有效的，完整且合理的。不仅提高了测试效率，优化了项目管理，并且降低了测试成本，保障了软件质量，对此类应用软件的功能测试具有积极作用。