CCTO/PZT复合多层薄膜的结构与电性能

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【摘要】

：

本文利用溶胶凝胶法分别制备了PZT和CCTO溶胶,通过改变CCTO前驱体浓度、退火方式、退火温度、复合薄膜的结构和La掺杂等薄膜制备工艺,研究了不同工艺参数对复合薄膜结构和性能的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)对复合薄膜的表面形貌和断面进行了观察。利用X射线衍射技术(XRD)对复合薄膜的相结构进行了研究,同时,利用铁电分析仪和精密阻抗分析仪对其铁电性能和介电性能进行了测量。研究结果表明所制备的P

【作者】

：

张亚舟

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2011年06期

【关键词】

：

PZT/CCTO复合薄膜溶胶凝胶法相结构铁电性能介电性能

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