任何技术的创新都由相应领域材料学的快速发展来推动,光电信息通讯技术的发展正在广泛而深刻地影响着人们的生活和社会的进步。聚合物光电子器件由于其特殊的优势,已经成为近年来研究的热门课题。无论从材料的结构、性能,还是材料自身的成本和可加工性,有机聚合物光学材料都显示出了比无机材料更加优越的应用前景。对有机聚合物光波导材料的研究主要集中在提高热及化学稳定性,降低材料的吸收损耗等方面,而降低材料吸收损耗有效的方法是用氘原子、卤素原子等取代氢原子。本论文正是基于这一思路,从传统的聚合物材料出发,在提高稳定性基础上合成了新型可交联聚甲基丙烯酸甲酯,并以该共聚物为材料进行了在聚合物阵列式波导光栅制作工艺方面的探索研究;在此基础上又进一步通过引入含氟单体合成出了可交联的含氟苯乙烯和含氟聚酯,它们经固化交联提高了其玻璃化转变温度,增加了聚合物膜层的稳定性,避免了层间互溶,同时由于聚合物中的氢原子被氟原子取代,降低了材料在光通讯波段的吸收损耗。最后,我们从减少光波导器件的制作步骤、降低制作成本着手,合成了光损小、交联后稳定性高的含氟光刻胶材料,并且通过简单的紫外写入方法直接制备出了表面规整、侧壁陡直备光波导器件。