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直线度是几何量中的一个重要项目,它与圆度、平行度并称为三大基本计量项目。目前国内外在圆度、平行度以及粗糙度等计量领域均已达到亚微米级甚至纳米级测量精度水平,然而直线度的测量精度却不高,特别是在大长度范围的直线度测量领域,其精度水平更远远落后于其他计量项目。 我国目前主要仍采用长平晶组分段互检方法作为直线度检定基准,测量精度不高(特别是在测量大尺寸零件时尤为明显)。这种状况严重制约着我国精密计量测试领域的发展步伐。与此同时,以前提出的以准直光束为光源,四象限光电池为接收器件的方法由于种种原因一直未能实用化,而激光干涉仪测量法则由于其价格过高,而难以得到广泛推广。因此迫切需要一种方法简便、经济高效和精度较高的测量方法。正是基于这种需求,提出了一种测量直线度的新方法,该方法根据法拉第磁光效应,将直线度的变化转变为偏振光相位的变化,然后通过后续光路和以微控制器为核心的鉴相电路测量出相位的变化量,进而由相位和直线度误差间的特定关系计算出直线度误差。基于此原理提出了总体设计方案,设计了磁光调制器,进行了硬件电路系统和软件系统设计,最终建立了一套直线度测量系统,完成了相关实验并进行了实验数据处理和误差分析。 本文提出的磁光旋向横向线性调制测量直线度的方法属于新方法的开发研究,为直线度的测量提供了一种新的思路,具有较高的参考价值和实用价值。实验结果表明该方法是一种可行的测量直线度的方法,值得进一步开发和研究。