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六氟化硫(SF6)气体因其优良的电绝缘性能和灭弧性能被广泛应用于电力行业中。随着SF6气体绝缘设备的普及,每年SF6的使用量在不断增加。相关调查研究表明,电力行业内SF6的无组织排放是全球SF6主要的排放源。1997年,《京都议定书》将SF6列入了温室气体的序列。因此,SF6气体也成为了全球温室气体的减排对象。介质阻挡放电(DBD)在常压条件下能够产生大体积、高能量密度的低温等离子体,在废气处理领域具有良好的应用前景。本文利用DBD等离子体技术进行SF6的降解实验研究,从背景气体、放电参数、外加气体等方面分别考察其对DBD等离子体降解SF6反应过程的影响。基于搭建的SF6降解实验平台,本文所开展的主要工作以及获得的主要结论如下:1)在相同输入功率条件下分别以四种背景气体降解SF6,Ar背景气体下的降解率最高,其次依次是He、空气、N2;单原子气体较多原子气体更适合作为背景气体,且Ar相比He作为背景气体能够更高效的降解SF6。2)相同放电电压下,增大电源频率,放电强度呈现先增强后减弱的趋势,放电功率也是先增大后减小,在中心频率8.9kHz处放电最剧烈、放电功率最大,降解率最高;在相同电源频率条件下,增加电源的输入功率,放电功率和电源利用效率会随之增加,完全降解SF6所需的时间越来越短。3)在相同O2浓度下,随着电源输入功率的增加,SF6的降解率越来越高,完全降解所需的时间越来越短;随着加入O2浓度的增加,对降解SF6的促进作用呈现先增加后减小的趋势,O2与SF6的浓度比值为1时促进作用最显著。在保证实验安全的条件下,适当添加一定浓度的H2有利于SF6的降解,在本文实验条件下,随着H2浓度的增加,SF6完全降解所需的时间越来越短。水汽的加入能够促进SF6的降解,在相同输入功率下降解2min后的降解率均比不加入水汽时的降解率高,对应的放电功率略有增加。4)根据降解产物的检测分析,在未加入其他气体时,检测到的主要产物为SO2F2和SOF2,SOF4和SO2的生成量相对较少,H2S的生成量最少;O2的加入,促进了SO2F2、SOF4的生成,抑制了SOF2、SO2的生成,且降解产物主要为SO2F2、SOF4;H2或水汽的加入,促进了H2S的生成,抑制了SO2F2、SOF4、SOF2的生成。本文的研究成果将为后期探索DBD降解SF6的机理以及实现工业化处理SF6奠定了基础。