AlN陶瓷贵金属厚膜金属化的研究

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本文在了解AlN陶瓷贵金属厚膜金属化的研究现状与发展动向的基础上,以HAuCl4为金源,H2PtCl6为铂源,乙二醇(EG)为溶剂和还原剂,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、聚乙二醇(PEG)为分散剂,选用多元醇法制备了适合厚膜浆料用的Au-Pt复合粉体。此外,本文初步进行了用于Ag厚膜金属化的玻璃料配方的确定,分析了其作为粘结剂对金属化性能的影响。采用EG为还原剂,分别以PEG400、PVP1000为分散剂制备Au-Pt复合粉体。研究了不同的分散剂体系对制备Au-Pt复合粉体形貌及粒径分布的影响。发现PVP1000分散效果优于PEG400;采用分步还原法,以PVP1000为分散剂,控制加料速率为0.04ml/s,在130℃下先加入金源,溶液变色后1min内再加铂源,升高温度至155℃,能制备粒度较均匀的亚微米级近球形Au-Pt颗粒;并且,成功制备了纯度高达99.9%的Au-Pt粉体。以CBS玻璃体系为基础,添加BaO、Al2O3、ZnO、Li2O、MgO、Bi2O3等组分,考察玻璃的软融特性和对氮化铝基板的润湿性能,初步选择出软融温度较低,对氮化铝陶瓷基板润湿性较好的A1、A2、A3号玻璃料。以A1、A2、A3配方为玻璃结合剂,研究其在Ag厚膜金属化中的影响。发现浆料的流平性差,这对金属化层的膜厚及均匀性有不利影响。金属化层附着强度低主要是因为玻璃相浮于金属化层表面,不利于玻璃和基板的机械嵌合。
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