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SiO2因其具有良好的化学稳定性和热稳定性,而在工业生产中得到了广泛的应用,它既可以直接用来制作光纤、晶振等光电子技术中的关键元件,还可以经过还原后制成各种半导体元件,用于各种电子技术、自动控制技术和测量技术中。经过细化的粉石英、硅微粉、白炭黑等微米甚至纳米级SiO2更是在橡胶补强、紫外屏蔽、电子封装材料等化工领域应用广泛。作为集成电路封装填充材料的硅微粉更是随信息产业的快速发展而显示出广阔的发展前景,而今,大规模、超大规模集成电路对封装材料的要求也越来越高,特别是对于颗粒形状提出了球形化要求,因此