【摘 要】
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为了能更精确地在线监测包装的密封性,本文以PVDF压电式气压传感器的核心元件PVDF压电薄膜为研究对象,以期制备具有高灵敏性的微结构气压传感器用于监测密封包装内气压的变化
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为了能更精确地在线监测包装的密封性,本文以PVDF压电式气压传感器的核心元件PVDF压电薄膜为研究对象,以期制备具有高灵敏性的微结构气压传感器用于监测密封包装内气压的变化。本文的主要研究工作包括:(1)采用预制结构聚合物空间调制电场力驱动成形工艺实现了 PVDF大深宽比微阵列结构的制备。(2)基于压电理论,通过对不同微阵列结构薄膜压电特性的仿真分析,提出了用于气压传感器的锥形微阵列结构,制备了 PVDF锥形微阵列结构。(3)对PVDF微阵列结构的形貌、晶相特性等进行了分析研究,讨论了预制结构电场力驱动成形时电压、空气间隙、温度等工艺参数对空间调制电场中电场力驱动过程的影响。(4)讨论了电场力驱动成形工艺中的极化、击穿问题。
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