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电容式微机械加速度计是近年来在市场上取得巨大成功的加速度计,在消费市场和军工国防领域都有着广泛的应用。许多公司和研究机构都在致力于高精度或大量程的加速度计的研制,这其中低功耗和数字化是加速度计研究的两个重要方向。本文就是在分析了闭环加速度计检测电路原理和低功耗电路设计的基础上,利用上华0.5μm DPDM±5V工艺模型参数完成了电容式闭环加速度计低功耗接口电路设计。本文首先分析了电容式闭环加速度计检测电路的原理,给出了低功耗的检测电路架构。又分析了适于接口电路的模拟集成电路低功耗设计方法