5倍长工作距白光干涉显微物镜的设计与实验研究

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【摘要】

：

干涉显微物镜是一种在传统的显微物镜结构中加入干涉模块,实现显微放大与等光程干涉两种功能的物镜。为了方便检测类似半球的表面微观形貌,通常要求干涉显微物镜具有较长的工作距离。目前,在齐焦距离为45mm时,市面上现有的5倍干涉显微物镜的最长工作距离仅为9.3mm,在进行某些测量时仍受工作距离不足的限制。本论文旨在设计与研制长工作距离的5倍干涉显微物镜,从Mirau型、Liinnik型、Michelson

【作者】

：

别枢佑

【机构】

：

南京理工大学

【发表日期】

：

2018年12期

【关键词】

：

干涉显微物镜光学设计光学装调光学测量

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