泡生法晶体生长设备控制系统的研究

来源 :西安理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:slchen168
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
蓝宝石晶体随着市场的需求越来越大,作为一种优良的多功能材料,具有出众的物理特性,在军事、工业、农业以及医疗等各方面都得到了相当广泛的应用。晶体生长炉作为制备晶体的设备,对生长具有大尺寸、缺陷少等要求的高品质蓝宝石晶体起到了关键的作用。本文选择改良的泡生法,从等径控制为出发点,着力提高生长设备的自动化程度。本文通过比对,选用目前应用较流行的改良泡生法——冷心放肩微量提拉法,将直径控制作为蓝宝石晶体生长全过程的控制要点,从蓝宝石晶体生长能量守恒方程等晶体基础理论着手,找出了影响等径控制的关键因素,并初步确定了控制策略。其次,从控制角度进一步探讨等径控制,选定温度为主要的被控对象,建立了相应的数学模型,结合控径原理,提出了温度与称重组成的串级控制系统。分析对比几种典型的温度控制算法,最终选用的控温策略为单神经元PID控制。基于西门子S7-1200系列PLC,对蓝宝石晶体生长设备的控制系统进行了详细设计。首先,从泡生法的工艺要求出发,完成了晶体炉的机械总体方案和运动控制子系统的设计工作。为了保证晶体炉长期低速稳定、无爬行、不抖动的运行,利用精密滚珠丝杠配合直线导轨的传动组合,经由行星减速机连接交流伺服电动机,实现籽晶杆的提拉运动,其旋转运动则依靠带传动与交流伺服电动机的配合来实现,运动控制子系统的设计均经过详细合理的计算,PLC作为运动控制的大脑,给与其相连的伺服驱动器发送指令。根据上述的理论分析,借助PLC的编程软件STEP7,分别编写采用单神经元PID算法的温控程序,以及称重子系统的称重程序;并仍旧基于可编程逻辑控制器作为控制核心,对温度控制子系统与称重子系统的硬件系统进行搭建。接下来,将这两个子系统根据串级系统的控制目的进行组合,最终实现蓝宝石晶体生长的平稳精确控制。最后,利用西门子TIAportal中的WinCC软件,基于SIMATIC精简系列面板,从界面和通信角度,设计蓝宝石晶体生长人机交互子系统,对晶体生长过程进行实时、有效、直观的监测与控制。完成生长系统的组建后,使用MATLAB软件的Simulink仿真功能,通过数学模型的编写和仿真框图的搭建,分析对比单神经元PID算法与常规PID算法在温度控制上的优劣,发现前者在稳定性、响应性和精确性上优势明显,因此对实际的应用具有一定价值的参考意义。
其他文献
目的探讨阿立哌唑合并舍曲林治疗以阴性症状为主的精神分裂症患者的疗效。方法抽取本院2015年6月至2017年3月期间诊疗的100例以阴性症状为主的精神分裂症患者,依据计算机表法
目前,物业管理收费难已经成为困扰物业管理行业发展的一个重要问题。本文结合沈阳天艾物业管理有限公司实际工作中遇到的问题,阐述了物业管理收费难的问题及解决方案,以供业
在劳动合同的订立过程中,存在着因一方当事人违反基于诚实信用原则而产生的一系列先合同义务而导致劳动合同不成立、部分无效、无效的情形,给另一方当事人造成损失,以至劳动
<正> 旋花科甘薯叶用于治疗子宫出血、急性胃肠炎、夜盲、便秘等。本次对甘薯叶中的酚类成分进行分离鉴定。干燥的甘薯叶(150g)用热甲醇提取,提取物(17g)在苯和水中分配,水层
中职生和高职生不同,会计英语教学和一般的会计教学、英语教学也不同。鉴于此,本文分析了以中职为基础的高职生会计专业英语的教学现状,阐述了会计专业英语的教学改革措施,以
黎曼泛函的研究有着很长的历史,而变分问题是微分几何研究中的一类重要问题。本论文研究了n维闭黎曼流形(M,g)上四类曲率泛函的变分问题,计算了泛函的一阶变分和二阶变分公式
考察了脂肪醇聚氧乙烯醚乙酸钠(AE9C Na)的生物降解性和酸、碱水解稳定性,研究了AE9C Na在洗衣粉、肥皂及香波中的应用性能。结果表明,AE9C Na易生物降解,在整个pH值范围内具
<正>如果消费者在购买食品时仔细观察,会发现近两年来市场上越来越多的预包装食品都在标签上标注了营养信息,到了2013年1月1日几乎所有的预包装食品都应该标上营养成分,这说
<正> 长期以来,蓖麻油作为不干性油多用来制造与氨基树脂硝化棉、过氯乙烯等配套的短油醇酸树脂。目前,还没有厂家单独用蓖麻油制自干漆。一般认为用蓖麻油制自干漆,干性差,