掺氢AZO薄膜的制备及热稳定性的研究

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【摘要】

：

透明导电薄膜由于高透光和高电导的特性而被广泛应用于太阳能电池前电极、平板显示、有机发光二极管等领域。锡掺杂氧化铟(ITO)薄膜是目前比较成熟的透明导电氧化物薄膜之一。但由于自然界In、Sn储量少和ITO薄膜在氢等离子体中不稳定等特点在一定程度上限制其应用。相比于ITO薄膜,铝掺氧化锌(AZO)薄膜具有成本低、无毒、氢等离子体环境中稳定等优点,被认为是ITO薄膜最有可能的替代者。但是目前AZO薄膜的

【作者】

：

刘智

【机构】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2017年05期

【关键词】

：

H-AZO 薄膜直流磁控溅射真空退火热稳定性

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