互联网的不断壮大给传输网带来了越来越大的压力,可以说信息时代要求容量更大的传输网络。在此背景下,波分复用的技术应运而生。波分复用技术能够带给光纤网更大的容量,从技术上解决光纤容量不足的问题。密集型光波复用(DWDM)技术是一种成熟的且较为先进的光纤通信技术,是世界各国研究和开发的热点。研究和制作用于DWDM系统的集成解复用接收器件,即具有波长选择特性,同时又有高响应速度、高的量子效率以及窄的谱线宽度的光电探测器已经成为了光通信领域的热点。本论文针对用于DWDM系统的集成解复用接收器件展开研究和制作,主要研究成果及工作内容如下：1、从理论上研究了GaAs-DBRs/InP-PD单片集成可调谐光电探测器的量子效率和高速响应。对该器件的异质外延生长、磁控溅射金属镀膜法、光刻工艺、正负反转胶工艺等进行了详细的归纳和总结。参与完成了该器件的实验制备并分析了器件的测试结果。该器件工作波长为1566nm,峰值量子效率大于12%,其3dB光谱响应线宽为1.8nm,器件的高速响应在13GHz左右。2、从理论上对双吸收层RCE光电探测器的量子效率和高速响应进行了研究。对该器件的异质外延生长和其后工艺实验制备进行了详细的探讨和总结。参与完成了该器件的实验制备并分析了器件的测试结果。该器件中心波长在1500nm附近,峰值量子效率为70%,器件的高速响应在4GHz左右。3、分析了具有多波长处理功能的单片集成光电探测器阵列的基本结构和量子效率。对多阶梯型谐振腔的制作工艺、光刻工艺、腐蚀工艺等进行了详细的探讨和总结,对该器件进行了制备并分析了器件的测试结果。具有四阶梯腔结构的单片集成光电探测器阵列的一个周期的工作波长分别位于1537nm,1550nm,1559nm和1570nm,这四个峰值波长对应的量子效率都大于15%,该器件的响应线宽也在0.5nm以下,响应速率为9GHz。