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采用溶胶-凝胶法制作的光学薄膜经过大量实验研究证明是一种非常有前途的新工艺。溶胶-凝胶镀膜能够在常温常压下进行,薄膜的纯度高、厚度容易控制、制备费用低,而且所需镀膜设备相对较为廉价,易实现大面积镀膜,镀膜过程易向工业化转化。我国研发的新一代高功率ICF装置中的主要光学元件,如隔板玻璃、倍频晶体、开关晶体、靶室窗口玻璃片等均需要进行化学镀膜,而近年来溶胶-凝胶工艺制备的ZrO_2/SiO_2多层膜以其优异的光学和抗激光损伤的性能引起了广大科研工作者的关注。因此,用溶胶-凝胶工艺制备的ZrO_2/SiO