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在航空发动机的设计和验证试验中,需要准确测量涡轮叶片表面和燃烧室内壁等热端部件的表面温度及分布,以准确评估热端部件的冷效设计和热障涂层的效果。相较于铠装热电偶丝,薄膜热电偶具有不破坏测试部件结构、响应时间短、热容量小和结构尺寸薄等优点,因此在热端部件的表面温度测量方面具有明显的技术优势。随着航空发动机不断向大推力、大推重比的方向发展,涡轮叶片表面以及燃烧室内壁等部位温度急剧升高(>1100℃),常规的金属薄膜热电偶材料体系已经无法满足应用环境需求,而In_2O_3/ITO宽禁带半导体型全陶瓷薄膜热电