【摘 要】
：
随着SiC材料和MEMS技术的发展,SiC电容式压力传感器被广泛应用于各种恶劣的工作环境中。本文基于ANSYS有限元软件,从绝缘结构、传感器芯片结构以及传感器封装结构三个方面研究了SiC电容式压力传感器的失效机理与环境应力的关系。首先,从残余热应力积累的角度研究了SiC电容式压力传感器绝缘结构的失效机理。建立温度应力下传感器的有限元仿真流程,基于实验与仿真结合的方式分析了温度应力下绝缘结构残余应力
论文部分内容阅读
随着SiC材料和MEMS技术的发展,SiC电容式压力传感器被广泛应用于各种恶劣的工作环境中。本文基于ANSYS有限元软件,从绝缘结构、传感器芯片结构以及传感器封装结构三个方面研究了SiC电容式压力传感器的失效机理与环境应力的关系。首先,从残余热应力积累的角度研究了SiC电容式压力传感器绝缘结构的失效机理。建立温度应力下传感器的有限元仿真流程,基于实验与仿真结合的方式分析了温度应力下绝缘结构残余应力随时间的变化趋势。研究发现,高温下绝缘结构残余应力与温度正相关,随时间呈对数增长趋势。绝缘结构应力主要集中在绝缘层上,衬底上应力很小,约在0.1Mpa～2Mpa之间。其次,结合SEM形貌分析和椭偏测试结果从界面特性退化的角度研究绝缘结构的失效机理。研究表明,退火工艺有利于样品性能的稳定性,退火后绝缘结构氧化层折射率和界面层厚度随后处理温度的增大而增大。退火前600℃处理样品的氧化层折射率较未处理样品增加了0.0088,退火后仅增加了0.00051。不同高温处理时间下氧化层折射率在1.4612～1.4615之间,变化很小。退火工艺对绝缘结构界面性能的影响较大,温度次之,高温时长的影响最小。最后,基于传感器芯片结构和封装结构模型,从应力积累和电学特性失效两个角度研究了电容式高温压力传感器芯片的失效机理与环境应力的关系。分别在高温恒温和高低温冲应力下完成传感器的仿真分析。仿真结果表明,高温恒温和高低温冲应力下芯片结构残余应力和残余形变的分布规律一致,敏感膜下绝缘层是SiC电容式高温压力传感器的薄弱部位。对比绝缘结构仿真结果,传感器同一部位最大热残余应力随温度和时间（周期）的变化情况与绝缘结构一致。高温应力下芯片残余形变以及绝缘层材料参数的变化均会导致芯片结构电容零漂的产生,900℃时芯片结构的电容零漂高达0.99%,高温应力严重影响了芯片结构的可靠性。
其他文献
＜正＞快节奏的生活逐渐改变着人们的饮食结构，食品的样式、口感越来越丰富，各种高脂肪、高热量的食物也逐渐增多，但过多地食用此类食物会摄入过量的反式脂肪酸，很容易引发高血压、冠心病、心血管疾病等患病风险，威胁到人们的健康。为此，本文通过对反式脂肪酸相关要点进行阐述，旨在帮助人们更清晰地认识、了解反式脂肪酸，尽可能地控制反式脂肪酸的摄入，从而保障身体健康。
＜正＞“双减”政策明确了要减少学生的作业负担，作业既是学生学习的重要环节，又是对学生的学习成果检验、学生学习知识点巩固、促进学生能力提高的关键途径。数学是具有较强逻辑的一门学科，教师进行设计与布置数学作业时，不仅能促进学生自身的思维能力以及逻辑能力提高，增强学生对数学知识的学习与掌握，而且还能引导学生依据作业设计进行反思，促使学生自身的思维品质得以提高，培养学生学科核心素养。但是，依据初中数学的作
研究了油脂精炼工艺对元宝枫油品质的影响。分析了油脂精炼工序对元宝枫油理化性质、脂肪酸和有益伴随物（甾醇、生育酚）的变化情况。结果表明：随着精炼工序的进行，元宝枫油的酸值、过氧化值和氧化稳定指数显著降低（p＜0.05），对脂肪酸组成影响不显著（p＞0.05）。与此同时，植物甾醇和生育酚两种有益伴随物的含量显著降低（p＜0.05），，分别由950.3mg/kg降至569.9 mg/kg、1107.4
通过测定从油茶籽油加工厂采集的毛油和脱酸、脱色、脱臭、脱蜡等精炼阶段的油茶籽油样品的理化指标、有益脂质伴随物、脂肪酸组成，并对实验数据进行主成分和相关性分析，探讨精炼过程中油茶籽油品质的变化规律。结果表明，与毛油相比，油茶籽油精炼后除去了油脂中大多数杂质，理化指标明显改善；但油茶籽油中的有益脂质伴随物VE、甾醇、黄酮、多酚、类胡萝卜素显著下降，从毛油到脱蜡油，损失率分别为79.57%、46.45%
＜正＞特色农产品具有种类繁多、物流需求高和储运困难等特点，其供应链运营水平往往滞后于网络营销的发展。文章梳理了特色农产品物流的发展现状及困境，指出网络货运通过平台整合、降低运输损耗、提供个性化服务等促进特色农产品物流转型升级。考虑电商平台的积极作用，构建“农户/基地+消费者”等特色农产品物流模式，探讨网络货运推动特色农产品物流转型升级的对策。我国幅员辽阔，各地气候、地貌迥异，孕育了大量具有地域特色
针对超宽带（ultra-wideband, UWB）定位技术在三维定位应用中存在的定位精度低，定位结果易受复杂环境影响，存在固定偏差的问题，基于Chan算法和简化无迹卡尔曼滤波（unscented Kalman filter, UKF）算法构建定位系统状态误差补偿函数对简化UKF算法进行自适应补偿，提出Chan-自适应无迹卡尔曼滤波（Chan-adaptive unscented Kalman f
目的 探讨甲状腺癌术后患者焦虑状况，分析相关影响因素。方法 将98例甲状腺癌术后患者按照是否存在焦虑情绪分为焦虑组与非焦虑组，比较两组一般资料，通过多因素Logistic回归分析法分析甲状腺癌术后患者焦虑发生的影响因素。结果 两组性别、婚姻状况、工作状况、家庭人均月收入、疾病复发危险性、病理类型比较差异有统计学意义（P＜0.05或0.01）,多因素Logistic分析结果显示，女性、无配偶、在职工
上海家化是中国日化工业的翘楚,在该领域有着100多年的发展经验,克服沉重的压力和困难慢慢成长为一家引领行业发展的,具有中国新时尚和历史记忆的国内化工企业。在这个时代的发展中,愿意进一步控制和管理公司的股东,以及掌握企业基本控制权的原始管理层,都愿意为了直接控制公司而展开争夺战。家化新晋控股股东平安集团与原公司的管理层之间的控制权争夺案例并不普遍,值得进一步研究和探索。本文基于上海家化发生控制权争夺
为研究类矩形盾构上跨既有地铁隧道对周围环境的影响，对杭州地铁某类矩形盾构施工的实测数据进行分析，结果表明地表沉降呈现快速沉降、沉降平稳2个阶段，主要发生在盾构通过阶段；上跨既有线时，断面最大沉降由右线中心线上方转为左线中心线上方；道床竖向在穿越范围内为隆起，其两侧40环内为沉降；道床差异沉降以交叉点为中心呈中心对称分布；既有隧道净空收敛分布呈V型曲线，主要影响区在盾构交叉范围。研究结果可为类似盾构