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随着现代科技的进步,很多润滑环境下的润滑已经超过了一般流体润滑材料的极限,为解决高负荷、高真空、超低温、强辐射和强腐蚀等特殊工况下的润滑,固体润滑材料正受到越来越多的重视。MoS_2薄膜和WS_2薄膜作为固体润滑剂,已经广泛应用于真空环境中,但是在大气环境下,特别是潮湿的环境中,薄膜的润滑性能会降低。研究表明纳米复合薄膜在大气环境中相对于单一薄膜具有更好的摩擦学性能。为了改善单一薄膜在大气中的摩擦学性能,本文采用磁控溅射MoS_2/WS_2复合靶和共溅射纯MoS_2靶和纯WS_2靶制备MoS_2/W