近年来,激光与固体物质之间相互作用(激光烧蚀)的控制受到关注。为了研究烧蚀的物理机制以及扩大烧蚀的商业应用,越来越多的研究倾注于如何控制激光烧蚀。本文中,我们主要研究了整形脉冲烧蚀样品硅的反应机制以及烧蚀的形貌。使用分束片获得的双脉冲作为最简单的整形脉冲,首先被用来烧蚀样品。当样品硅表面位于不同相对激光焦点位置时,改变双脉冲延迟时间并探测不同延迟时间下的荧光信号强度。我们发现,当双脉冲完全重合时,产生的荧光信号强度最小,随着延迟时间的增加,荧光信号强度是增加的,但是在特定的延迟时间后会有回落,并非一直增加。我们比较了不同光强下的不同现象并对上述现象给予解释。整形脉冲技术可调节变换脉冲的形状,应用于很多领域。我的第二部分工作就是应用计算机可控的空间光调制器调节90fs,800nm的飞秒激光脉冲,然后使用整形脉冲烧蚀单晶硅,对其产生的荧光信号进行优化。优化过程是基于遗传算法中荧光信号的反馈,遗传算法根据反馈的荧光信号迭代改变加在飞秒脉冲上的位相,直到找到最优位相。我们发现荧光信号随代数的增加是上升的,当找到最优位相后达到饱和不再增加。这证明遗传算法优化可以用于烧蚀动力学的控制。我工作的第三部分是使用各种整形脉冲对金属铜片钻孔。我们分别在空气中和真空中对铜片钻孔,发现烧蚀形貌最大的不同是喷出物的沉积。在空气中,大部分喷出物会沉积回烧蚀坑的周边并且在烧蚀坑的边缘有凸起的波纹。在真空中,烧蚀后样品的表面是很干净的。