高灵敏度、小型化、集成化、低成本、响应速度快的生化传感技术能够为环境监测、食品安全分析、临床生物医学的诊断及研究等提供技术支持,对全面建设小康社会,保障人民健康和生命安全、提高国民的生活水平具有重要的实际应用意义。本论文以微/纳传感器在环境监测领域的痕量现场快速应用为研究背景,以完善传感器传感机理,提高传感器自身性能为研究目标,针对当前AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)生化传感器因金属或氧化物门电极的存在而提高了传感器制作成本以及分子识别元件固定需在门电极上进行等问题,首次提出开展用于TNT检测的“生物分子膜-纳米金颗粒”门电极的AlGaN/GaN HEMT生物传感器技术的研究。本文的主要研究工作如下:(1)对TNT检测背景和现有TNT的检测方法进行了概述,结合AlGaN/HEMT的优异性能,提出用其制作传感器完成对TNT的检测的设想。(2)分析了AlGaN/GaN HEMT传感器的工作原理,设计了用于TNT检测的AlGaN/GaN HEMT传感器器件结构,完成了传感器制作的工艺开发,优化了包括光刻、刻蚀、镀膜、退火、封装等相关工艺的参数;(3)完成了AlGaN/GaN HEMT传感器的表面修饰,采用3-巯基丙基三乙氧基硅烷化学链接金纳米颗粒(Au NPs)以加强信号响应并对金颗粒用巯基乙胺进行了修饰的方法以完成对TNT的特异性识别;(4)对修饰好的AlGaN/GaN HEMT传感器进行了TNT检测限与特异性的测量,实验数据显示该传感器对TNT的检测极限达到了ppt级,并对TNT的相似物质具有较好的特异性。