子波面扫描法长焦距透镜波面检测系统研究

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大口径长焦距透镜是超大功率激光系统的重要组成原件,研究对其进行像质检测的系统对解决如今日益严峻的能源问题有着重要的意义。但如今仍没有对其进行行之有效的检测方法。为了解决这个问题,本文提出一种通过子孔径扫描的方法对大口径长焦距透镜进行检测的新方案,并在完成了检测装置的设计、安装和调试,最终成功完成了波面检测。该方案主要可以分为两个步骤。第一步通过子孔径波面扫描,对朗奇光栅利用泰伯效应产生的莫尔条纹进行采集,运用数字图像处理的方法,获取子孔径的波面斜率数据;第二步对波面数据进行以泽尼克多项式为
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