本文运用动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo，KMC)方法，模拟了金属Fcc(111)面上薄膜的三维生长，对比了fcc(face-centered cubic)位置正常生长和包含hcp(hexagonal close-packed)位置层错结构生长下的薄膜三角、六角形紧致生长形貌和分形生长形貌，分析了基底温度、沉积速率、覆盖率等生长条件对薄膜同质外延生长的影响。模型选取Fcc(111)面900×900的六角晶格作为基底，采用周期性边界条件，模拟粒子从高处沉积至基底、粒子的同层扩散、层间扩散、绕岛成核以及原子岛合并等过程，并考虑了扩散的各向异性以及最近邻粒子数的影响。获得的主要研究结果如下：　　与单纯考虑fcc位正常生长相比，层错结构下生长的薄膜岛个数较多，岛尺寸较小，薄膜粗糙度较低;随基底温度的升高，层错结构薄膜岛个数减少，岛尺寸增加，粗糙度增大;随着沉积速率的增加，层错结构薄膜岛个数增多，岛尺寸减小，粗糙度减小;分形生长时，随着覆盖率的增加，薄膜粗糙度增大，层错结构薄膜粗糙度增加较缓慢。