磁控溅射制备ZnO透明导电薄膜的研究

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【摘要】

：

氧化锌是一种Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,在室温条件下拥有3.3 eV的宽禁带和较高的激子束缚能(60meV),还拥有较高的稳定性。鉴于其出众的光学和电学性质,氯化锌和掺杂氧化锌材料也被广泛应用在紫外探测器、发光器件、太阳能电池、压电传感器、薄膜光波导和透明导电薄膜等多个领域。特别是ZnO基透明导电薄膜的研究,近期更是引起了广泛关注。本文的主要研究内容则是：1、论述了透明导电薄膜的研究进展和发展前景,对Zn

【作者】

：

蒋志昂

【机构】

：

兰州大学

【发表日期】

：

2010年05期

【关键词】

：

氧化锌磁控溅射纳米结构透明导电掺杂改性

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