矢量网络分析仪(Vector Network Analyzer, VNA)是微波/射频研究、开发中使用最广泛的测量仪器，校准和误差修正是矢量网络分析仪中的关键技术之一。目前，随着多端口器件和差分器件在微波毫米波工程中的广泛应用，对多端口矢量网络分析仪的需求不断增加。用多端口矢量网络分析仪对待测器件(Device Under Test, DUT)进行一次测量就能得到完整的散射矩阵，与相应的二端口矢量网络分析仪测量过程相比具有更高的测试精度和更快的测试速度，但是其硬件结构和误差模型更为复杂，因此相应的校准与修正技术更加困难。本文针对n端口矢量网络分析仪(n≥2)的校准技术做了深入研究，主要内容包括以下几点：1）按照不同的硬件拓扑结构归纳了基于12项误差模型的三通道矢量网络分析仪校准技术和基于8项误差模型的四通道矢量网络分析仪校准技术，同时，按照不同的校准件组合给出了针对具体误差模型的SOLT和TRL校准方法。2）提出了基于T矩阵的10项误差模型SOLT校准技术。针对三通道二端口矢量网络分析仪，利用T矩阵的概念进行校准和误差修正，不需要求解系统误差项的大小，节省了计算机内存，提高了计算效率。3）提出了基于开关补偿误差的8项误差模型SOT-UL自校准技术。引入长度未知的50传输线代替特性已知的单端口匹配校准件，传输线的传播特性可以通过校准过程中的冗余信息计算得到，不仅简化了校准过程，而且降低了测试成本。4）完成了四端口矢量网络分析仪的校准与修正过程。通过引入向量形式的节点和矩阵形式的增益，将原本复杂的四端口48项误差模型简化为广义“二”端口12项误差模型，不仅流图简单，而且误差矩阵物理意义明确。最终，基于广义“二”端口12项误差模型得到四端口待测件散射参数误差修正公式。