论文部分内容阅读
微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)具有非常广阔的应用前景,MEMS的研究涉及器件、材料、工艺、设计方法等方面。最近几年,随着MEMS的迅速发展,MEMS的计算机辅助设计(MEMS CAD)成为当前研究的热点。 MEMS加工工艺数据库是MEMS CAD的关键交互数据库之一,同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级重要模块,是实现计算机辅助设计的必要条件,因此对该数据库的研究具有重要的应用价值。