GaN基LEDs可靠性的研究

来源 :北京工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hzj123456789
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本文以加速寿命试验和失效分析为主要研究手段,对GaN LEDs器件退化机理进行了比较深入的研究,并对一些关键工艺提出了改进措施。主要内容包括: 研究了封装与器件可靠性的关系及封装造成的失效模式。 应用扫描电镜对过电应力(Electrical Overstress)造成的损伤进行了系统分析。 采用两步刻蚀法减小常规:ICP刻蚀工艺所带来的损伤,实验表明改进工艺后器件的正向电压降低,输出功率增大,长期可靠性得到提高。 研究了不同的电流扩展工艺对GaN LEDs器件的影响。通过红外热像仪测试说明带有环状n型电极的器件比常规器件有更好的性能。
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