微定位平台是微/纳加工与装备测试的核心功能组件。本文以设计大行程、高分辨率微定位平台为目标,以柔度矩阵法、拉格朗日方程、有限元分析等系统地研究了微定位平台结构刚度、固有频率以及运动特性等关键问题,并加工出样机进行实验测试。主要工作成果如下:设计一种以音圈电机驱动柔性铰链机构的二自由度微定位平台。微定位平台由上、下平台通过螺栓连接而成,具有行程大、承载能力强、完全解耦等优点。对微定位平台进行简化处理,用柔度矩阵法、拉格朗日方程分别分析微定位平台刚度和固有频率,为结构参数设计奠定理论基础;通过有限元分析,系统研究了微定位平台静力学特性、耦合位移误差和动态性能。基于上述理论分析,加工出样机并进行实验测试,主要包括响应特性分析、工作空间确定和分辨率标定。微定位平台具有快速响应性和稳定性,良好解耦效果,工作空间为毫米级,分辨率为微米级。采用PI控制器,微定位平台性能得到显著提升。