激光波长扫描干涉测试方法用于非球面测试的研究

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随着非球面元件设计和加工技术的发展,在光学仪器的设计和制造中,非球面元件的特殊作用越来越显著,而对非球面光学元件的面形及其参数的检测也就提出了越来越高的要求。本文主要是研究一种新的非球面检测方法——激光波长扫描干涉测试方法。研究的目的主要是针对大型高精度非球面面形检测中干涉仪的参考光路和测量光路较长,干涉系统对工作台振动和空气抖动等外界干扰因素的影响敏感,干涉图不稳定等问题,提出了激光波长扫描干涉测试方法,该方法通过对瞬间读取的、与连续变化波长对应的干涉图的处理和分析,克服了上述缺点,为大型高精度非球面的检测提供了一种适用的方法。本文首先提出了课题研究的背景和意义,对国内外相关技术的发展作了简要的概述,详细介绍了非球面检测的基本理论,在此基础上,提出了波长扫描干涉测试方法的原理,构建了激光波长扫描干涉仪实验系统。实验系统的硬件部分主要包括:波长可调谐的激光光源系统、实验用光学系统、图像采集系统,本文着重对波长可调谐的激光光源进行了分析,对实验用光学系统进行了优化设计。软件部分主要包括干涉图处理系统和测量结果的输出,本文着重介绍了干涉条纹图处理的方法和原理,以及相关的算法,并完成了软件的编写。最后,在实验的基础上,给出了实际检测的样例和结果,并对结果的合理性给出了验证。
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