高亮度、高分辨率大屏幕液晶光阀投影机中光电导层和反射层的研究

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本文就高亮度、高分辨率大屏幕液晶光阀投影机中反射层及光电导层进行了研究,主要工作有两部分:光电导层(a-Si:H)的制备工艺;介质反射镜的设计及制备;对于光电导层主要是从从理论上分析了液晶光阀光电导层对光电阻、暗电阻、厚度这三个参数的要求,并分析了它对分辨率的影响,最后是如何从工艺条件上达到a-Si:H薄膜性能要求。介质反射镜方面首先进行介绍了光学薄膜的设计理论,用MATLAB进行编程模拟λ/4介质膜系多层高反射膜,并介绍了它的制备原理,测试方法,我所设计的反射镜采用了SiO2/TiO2高低折射率交替λ/4介质膜系,最终制得了反射率高达99.5%~99.8%的介质反射镜,这在性能上完全能够满足液晶光阀的要求。
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