过滤阴极电弧制备掺氮非晶金刚石薄膜的研究及其应用

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【摘要】

：

本文采用过滤阴极真空电弧沉积系统制备掺氮非晶金刚石薄膜,开展对掺杂工艺控制、薄膜光电性能和结构表征以及掺杂机制的研究,获得性能优异的光电薄膜材料,并将其用作锗红外窗口除霜增透保护膜和碳基薄膜太阳能电池。具体工作如下:采用XPS和Raman光谱分别对不同含N量的ta-C:N膜的组分和微观结构进行分析。实验表明:随着氮气流速从0增加到24sccm,薄膜中氮原子含量单调增加到最大值为4.1%,此后随氮气

【作者】

：

陈旺寿

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2008年06期

【关键词】

：

掺氮非晶金刚石薄膜锗红外窗口除霜增透太阳能电池

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