低温等离子体是靠气体辉光放电产生的电离气体,形成低温气体等离子体方法很多,常用方法有直接辉光放电、射频辉光放电、微波辉光放电等。低温等离子体改善材料表面性能的机理可粗略认为:在低温等离子体反应室内,低压工作气体中的电子在电场加速作用下,由于电子碰撞及派生离子、原子的碰撞使气体电离,从而产生低温等离子体。聚四氟乙烯高频微波多层印制电路板的孔金属化制造,其最大的难点是化学沉铜前的活化前处理,也是最为关键的一步。在低温等离子体技术未被应用前,印制电路板制造业界,主要是依赖于各类化学处理溶液,对需进行表面金属沉积的部分进行活化改性处理。而低温等离子体改性是一种干式工艺,无需进行废液的处理,且作用时间短,效率高,改性只发生在表面层,因而不影响基体固有性能。本课题于2000年开始研究以等离子体处理法取代原有的化学溶液对聚四氟乙烯、聚酰亚氨等高分子材料表面进行改性处理。研制出国内首台工程化的低温等离子体处理设备,本论文对低温等离子体处理设备的设计作了较为详细的介绍,通过对低温等离子体对高分子材料表面改性机理、等离子体处理设备的研制及对微波印制板制造工艺的研究,制订出低温等离子体设备在微波印制板制造中的工艺规范。