无铅压电厚膜制备工艺研究

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众所周知,传统的压电材料(锆钛酸铅)含有大量的铅,在制备和使用过程中,造成了环境污染和对人体的伤害。为了保护我们的环境免受铅污染,开发新的无铅压电材料来替代传统压电材料是压电材料发展的必然趋势。在众多的无铅压电材料体系中Na0.5Bi0.5TiO3-K0.5Bi0.5TiO3(NBT-KBT)具有很好的压电特性。同时,随着电子元器件向微型化、集成化、多功能化发展,新型器件需要采用工作电压低、界面反应小的压电厚膜才能实现。在现有的各种压电厚膜制备方法中,丝网印刷法和流延法是制备压电厚膜较为成功的方法。
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