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基于MEMS技术的生化传感器，是目前传感器发展的趋势，它有着集成度高，灵敏度高，进样量少和成本低等特点。本文研究了两种与微加工工艺相结合的微传感器阵列——用于液态成分分析的离子图象微传感器阵列和用于检测细胞生理活动的场效应管细胞传感器。 离子图象微传感器阵列可对pH=1-12的溶液样本和包括Cu~(2+)，Fe~(2+)，Fe~(3+)，Ca~(2+)，Zn~(2+),Mg~(2+)在内的6种金属离子实现定性、定量的测量。该传感器阵列是一种将传统滴定方法与微加工技术相结合