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非球面反射镜因其优良的光学成像性质被广泛地应用于国防军事、天文观测、民用生活和医学卫生领域。广泛的应用以及光学技术的发展使人们对非球面反射镜的加工效率与加工精度的要求越来越高。在非球面的精密超精密加工中，非球面检测技术是其支撑技术之一，因为检测能达到的精度往往是加工所能达到的精度极限，所以找到一种高精度、可靠的非球面反射镜面形检测方法对提高其加工效率与精度都是非常必要的。激光剪切干涉法是一种较新的、精度较高的检测方法。与传统干涉法不同，剪切干涉法不需要参考光，这种自比较干涉的特点使其在检测非