柔性电子技术是一场全新的电子技术革命,引起全世界的广泛关注并得到了迅速发展。鉴于透明度、柔韧性及力学性能要求,高分子聚合物材料是柔性基板的理想选择,但是由于高分子薄膜的表面能低,柔性基板表面与导电膜之间的黏结情况会直接影响柔性电子器件的整体质量。目前,最普遍的方法就是对其进行表面改性处理。本文采用直流(DC)脉冲偏压协同射频(RF)脉冲等离子体对聚对苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜进行表面改性,并对其改性原因进行分析。借助场发射电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)等测试方法对改性后PET膜表面的形态结构和化学组成进行了表征分析,通过接触角测试仪和剥离试验对改性后的润湿性和黏结性进行了测量和表征。利用朗缪尔探针和发射光谱对等离子体内粒子状态进行诊断,发射光谱主要讨论O777.3nm (3s5P→3s5S0)、844.6nm (3p3P→3s5S0)、Ar912.3nm (2p→101s5)特征谱线的发光强度。实验结果如下：通过增加脉冲偏压协同作用,可以在15s时间内快速有效的提高表面亲水性和黏结性。调制频率1KHz情况下,接触角15s内降低至200,且随着偏压的增大,表面亲水性越好,黏结性越好,改性后的PET与Au膜的剥离力比未处理样品提升了近6倍。通过FESEM和XPS测试分析,经偏压协同等离子体处理后,PET膜表面刻蚀现象明显,粗糙程度增加,甲基碳(O-CH2)含量上升,溅射镀金过程产生Au-O键,增加金膜与PET膜之间的结合力。脉冲调制频率200Hz时,相对于1KHz时改性后亲水性更佳,接触角最低降至17°,表面粗糙程度增大。低频调制时有利于等离子体活性种能量的增大,表面刻蚀加剧。时效性分析表明,改性效果越好接触角恢复越慢,例如BV=-800V最慢。且施加偏压的时效性优于未加偏压的情况,当处理条件为BV=0V时,4天后恢复至47°,而处理条件BV=-800V恢复至47。需要15天。通过改变等离子体活性种浓度时发现,偏压源未延迟,即delay0ms时,活性种浓度和能量最大,AFM测试表面粗糙度最大,XPS分析表面C-C键被打断,含量降低,PET膜表面改性效果最好。时间延迟后,等离子体活性种浓度和能量降低,刻蚀程度降低,表面粗糙度下降,同时表面C-C无法打开,羧基、羟基等含氧官能团含量略有上升,脂基氧含量下降,而脂基官能团亲水性最好,所以导致延迟后改性处理效果略差,说明DC脉冲偏压的协同处理作用效果显著。