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本论文通过对多自由度微位移机电系统的驱动单元和微位移机构的探讨，在分析和研究了国内外现有研究成果的基础上，提出了一种新型的三自由度微位移工作台系统。该机构构思新颖、简单、容易实现，而且控制方便。同时对柔性铰链机构采用有限元分析方法，结合正交试验和回归分析进行详细的分析计算，得出了较优的柔性铰链结构参数。 第一章阐明了本课题提出的背景、来源、目的和意义，综述了微位移机电系统在国内外的发展历史与现状，提出了本论文研究工作的主要内容。 第二章对微型机